Αναερόβιος Φούρνος

Περιγραφή

Η σειρά φούρνων Inert Atmosphere χρησιμοποιείται στην κατασκευή ημιαγωγών για το ψήσιμο προεπεξεργασίας πλακών πυριτίου, αρσενιδίου γαλλίου, νιοβικού λιθίου, γυαλιού πριν από την επίστρωση PR, ψησίματος σκληρού φιλμ μετά την επίστρωση PR και ψήσιμο σε υψηλή θερμοκρασία μετά την ανάπτυξη. Είναι επίσης κατάλληλο για τμήματα παραγωγής και επιστημονικής έρευνας, όπως ηλεκτρονική οθόνη υγρών κρυστάλλων, LCD, CMOS, IS και εργαστήρια. Μπορεί επίσης να χρησιμοποιηθεί για ξήρανση, θερμική επεξεργασία, γήρανση και άλλες δοκιμές υψηλής θερμοκρασίας μη πτητικών, μη εύφλεκτων και μη εκρηκτικών αντικειμένων.

Βασικές Παράμετροι

►Τεχνικές παράμετροι

Χωρητικότητα: Προσαρμοσμένη σύμφωνα με τα προϊόντα

Εύρος θερμοκρασίας: Περιβάλλοντος+50°C ~ 250°C

Περιεκτικότητα σε οξυγόνο: ≤50 ppm

Ομοιομορφία θερμοκρασίας: ±2,5%

Ramp-up Rate: Ελεγχόμενο

Είσοδος Αζώτου: Φ8

Παροχή αζώτου: 0-240L/min * 2 κανάλια

►Δομή

. Εσωτερικός φούρνος: Κατασκευασμένος από ανοξείδωτο χάλυβα και συγκόλληση χωρίς ραφή με αέριο αργό.

. Ερμητικά σφραγισμένο: Ο θάλαμος είναι σφραγισμένος για μείωση των επιπέδων οξυγόνου.

. Δομή εισαγωγής αέρα: Επιτρέπει στα μη οξειδωτικά αέρια να γεμίσουν το θάλαμο.

. Αναλυτής O2: Ρυθμίστε με ακρίβεια τα επίπεδα οξυγόνου μεταξύ 0,5-21%

► Σύστημα ελέγχου θερμοκρασίας

Έξυπνος ελεγκτής θερμοκρασίας JAPAN RKC, προγράμματα και ρύθμιση τιμής σταθεροποίησης, αυτόματος συντονισμός AT, διόρθωση μετατόπισης και διατήρηση απενεργοποίησης.

► Αναγκαστική μεταφορά αέρα

Ο κατοχυρωμένος με δίπλωμα ευρεσιτεχνίας αγωγός αέρα στο σύστημα κυκλοφορίας ζεστού αέρα μπορεί να ρυθμίσει αυτόματα την ομοιομορφία της θερμοκρασίας.

Χαρακτηριστικά για αναερόβιους (αδρανείς) φούρνους

► Ερμητικά σφραγισμένο στούντιο από ανοξείδωτο χάλυβα για αποφυγή εισόδου εξωτερικής ατμόσφαιρας

► Χρησιμοποιήστε αδρανές αέριο άζωτο για αναερόβια θερμική επεξεργασία

► Ο μετρητής ροής και το μανόμετρο είναι εξοπλισμένα

► Συσκευές ασφαλείας πολλαπλής προστασίας

Επιλογές

► Προγραμματιζόμενος ελεγκτής PLC+7”.

► Τρίχρωμη λυχνία που αναβοσβήνει

► Περιοριστής υπερβολικής θερμοκρασίας

► Χειροκίνητες συσκευές ασφαλείας

Γιατί να επιλέξετε Φούρνους Inert Atmosphere;

Σήμερα, τα υλικά καλωδίωσης στα κυκλώματα έχουν μετατοπιστεί από το αλουμίνιο στον χαλκό με χαμηλότερη ειδική αντίσταση. Επομένως, όταν υποβάλλεται σε θερμική επεξεργασία σε έναν κανονικό φούρνο ξήρανσης, τα χάλκινα μέρη μπορεί να οξειδωθούν, προκαλώντας ελαττώματα. Επιπλέον, πραγματοποιείται επίσης γήρανση 250 βαθμών C για να ελεγχθεί εάν τα δεδομένα που είναι γραμμένα στη μνήμη flash έχουν διαγραφεί λόγω ηλεκτρομετανάστευσης και εάν τα εξαρτήματα των προσκρούσεων έχουν οξειδωθεί, επομένως η περιεκτικότητα σε οξυγόνο πρέπει να μειωθεί σε <100 ppm. Αυτός ο αναερόβιος φούρνος αναπτύχθηκε για να καλύψει αυτές τις απαιτήσεις.

Εφαρμογή

Οι φούρνοι Inert Atmosphere χρησιμοποιούνται κυρίως για σκλήρυνση κόλλας BPO/κόλλας PI/κόλλας BCB, IC (wafer, CMOS, Bumping, TSV, MENS), FPD, ηλεκτρονικά εξαρτήματα υψηλής ακρίβειας και άλλα υλικά σε περιβάλλον χαμηλού οξυγόνου για δοκιμές ξήρανσης και γήρανσης .